Lambda Research准分子激光反射镜

ArF(193nm)，反射率>97%、耐酸/氟的193/248/308nm反射镜

Lambda Research Optics由从事电子光学业务超过25年的人士创立，专注于生产用于从真空紫外到远红外整个光学光谱的光学元件。Lambda对光学、光学材料和光学镀膜具备一定的能力，可为客户提供研究、开发或产品制造所需的光学元件。
美国Lambda准分子反射镜分为腔内反射镜(XRM/XOC)和腔外反射镜(XHR/XPR)，ArF(193nm)、KrF(248nm)或XeCl(308nm)准分子激光反射镜可用于微光刻、微制造和医疗设备等应用。氟化氩准分子激光器可产生193nm的短波长输出，这对于追求更精细分辨率的微光刻领域非常重要，此波长下，建议使用氟化钙或氟化镁基底作为腔内透射光学元件。后腔反射镜(Excimer Cavity Rear Mirrors (XRM))在激光波长下的反射率至少为97%。另外，用户可指定输出耦合器的反射率。值得关注的是，Lambda高质量准分子激光腔镀膜涂层是专为耐酸/氟(Acid/Fluorine resistance)而设计的。
腔外反射镜(extra-cavity mirrors)用于氟化氩准分子激光器，它们使用紫外熔融石英衬底，输出波长为193nm。在短波长下工作时，高质量的涂层和极高的洁净度至关重要，这些反射镜在正常入射时的非偏振反射率至少为97%，在45°入射时为96%。部分反射率可由用户指定。

准分子激光反射镜 Lambda的主要特点：
腔内反射镜和输出耦合镜(XRM/XOC)特征：
- 氟化氩准分子激光光学器件
- 氟化钙或氟化镁基底
- 反射率>97%


腔外反射镜和部分反射镜(XHR/XPR)特征：
- 腔外转向镜Extra-Cavity Turning Mirrors
- 正常或45°入射角
- 高反射率或部分反射率


308/248/193nm反射镜的规格：