提供激光分束DOE 分光镜 激光分光片 分束元件

分光镜的定义是使一束入射激光分束为多个激光光束的元件。分束之后的激光数量可以是2束，也可以是几百束，可以是一维排布，也可以是二维排布。Holoor的激光分束元件可以将激光光束分化为任意个数子光束，同时不改变初始光束的特性（当然，光束能量和传输方向除外）。

激光分光镜可应用于许多领域，如激光材料加工，激光传感，光通信，光学图像处理，微电子，显微镜等。具体例子包括激光打标、激光划片/切割、多孔同时加工、激光传感、高速激光毛化、光纤耦合等。激光钻孔的具体应用包括包装工业中易撕裂的纸箱和金属膜，香烟水松纸，方便面筛孔，液体和气体排放管道，汽车安全气囊中金属片的预先弱化。在激光加工领域，高效激光打标、太阳能电池划片已经通过激光分束元件取得了非常好的效果。在激光打标或划片时，光束的数量的多少直接决定激光加工效率，例如两束激光的加工效率比单束激光提高一倍。这两束激光可以是紧邻的或者有一定夹角，两束光的光斑距离可以为1~2mm，也可以为几十甚至>100mm，根据激光加工的实际要求来确定。国外的公司已经有类似成熟的方案，具有非常好的稳定性和加工效率。

我们不仅能够提供一维的激光分束元件，而且可以提供二维的激光分束元件，也可以实现线光斑阵列。光束的数量、光束间的夹角、直线的长度和数量都可以任意定制。HoloOr提供大量的标准品供客户选择，仅1064nm一个波长就有约100种标准型号，其中一维激光分束器的规格包括但不限于1×2, 1×3, 1×4, 1×5, 1×7, 1×9, 1×11, 1×101，二维激光分束器的规格包括2×2, 3×3, 2×3, 100×100, 128×64等等，***高可达百万束。
 
激光分光镜的特点
1. 对入射激光无要求，可以单模或多模激光输入，都光束直径、光束质量都无特别要求
2. 分束后能量和波前一致性好，分束之后每束激光的能量和波前一致对于激光加工的效果非常重要
3. 安装方便，对准直和中心轴位置不敏感
4. 覆盖紫外到红外的所有激光波段，193nm to 10.6um，我们提供国内供应商不能提供的二氧化碳激光分光镜
 
激光分光镜的应用
激光打标、激光打孔
太阳能电池激光划片、玻璃切割、LCD模组切割
机器视觉，3D传感器，3D体感，三维扫描
生物医学，激光美容，激光整形，激光去斑、激光显示，激光照明、光纤光学
 
激光分光镜的定制
1）Holo/Or设计生产的激光分光镜可以定制出射光的排布和形状
一般而言，标准规格的激光分束器可以生成一维阵列（1×N）或二维矩阵（M×N）。激光分束器还可以生成一个多条直线的阵列。如果用户需要定制激光分光镜，需要提供激光波长，光斑大小，工作距离以及各光束的发散角等参数。
2）Holo/Or设计生产的激光分光镜还可以定制能量的不均匀分布
基于强大的开发设计能力，我们还可以为客户定制能量分布不均匀的激光分光镜，比如某些特定的级次激光能量为50W，而另一些特定级次的激光能量为10W，而这些级次之间的能量均匀和一致性又控制得非常好。如果您还有其它科研级的定制需求，欢迎随时联系Holo/Or中国区代理商——维尔克斯光电光电。
 
激光分光镜的安装使用
通常，客户都会配合聚焦透镜进行试用，这设计时需要客户提供透镜的焦距，因为光束之间的夹角是固定不变的，这样确定各光束之间的距离。使用时，聚焦镜放置在分束元件之后。
 
由于衍射光学原理的显指，双光束分束元件的效率一般可达到80%，对于多光束（至少为3）的分束元件，利用二元多阶结构，效率可以从85%到95%，且其多余的能量以杂散光的形式损耗。为了得到更好的分束效果，需要客户提供初始的光斑大小，光斑大小需要至少为刻蚀周期大小的3-5倍，5倍以上效果***佳。
 
激光分光镜的标准规格
1）1064nm一维激光分束元件标准规格
型号    光束数量    激光波长
[nm]    角度°
[deg]    透镜尺寸
DOE [mm]
DS-002-I-Y-A    2    1064    0.27    27.94
DS-026-I-Y-A    2    1064    0.099    27.94
DS-217-I-Y-A    2    1064    0.27    25.4
DS-224-I-Y-A    2    1064    0.12    20
DS-238-I-Y-A    2    1064    1.42    25.4
DS-210-I-Y-A    2    1064    0.29    11
DS-209-I-Y-A    2    1064    0.15    11
DS-208-I-Y-A    2    1064    0.27    11
DS-213-I-Y-A    2    1064    0.038    38.1
DS-215-I-Y-A    2    1064    3.39    11
DS-029-I-Y-A    2    1064    0.099    15
DS-207-I-Y-A    2    1064    0.15    15
DS-199-I-Y-A    2    1064    8.72    11
DS-006-I-Y-A    2    1064    2.54    25.4
DS-034-I-Y-A    2    1064    0.038    38.1
DS-198-I-Y-A    2    1064    7.63    25.4
DS-197-I-Y-A    2    1064    5.08    11
DS-218-I-Y-A    2    1064    14.38    11
DS-196-I-Y-A    2    1064    4.13    25.4
DS-195-I-Y-A    2    1064    1.05    25.4
DS-194-I-Y-A    2    1064    1.05    27.94
DS-193-I-Y-A    2    1064    0.96    25.4
DS-192-I-Y-A    2    1064    0.96    27.94
DS-191-I-Y-A    2    1064    0.92    25.4
DS-190-I-Y-A    2    1064    0.92    27.94
DS-189-I-Y-A    2    1064    0.5    15
DS-188-I-Y-A    2    1064    0.18    25.4
DS-187-I-Y-A    2    1064    0.18    27.94
DS-186-I-Y-A    2    1064    0.14    25.4
DS-222-I-Y-A    2    1064    2.18    11
DS-185-I-Y-A    2    1064    0.14    20
DS-184-I-Y-A    2    1064    0.094    25.4
DS-212-I-Y-A    2    1064    0.25    38.1
DS-216-I-Y-A    2    1064    1.52    11
DS-033-I-Y-A    2    1064    10.17    25.4
DS-001-I-Y-A    2    1064    0.14    27.94
DS-223-I-Y-A    2    1064    1.35    27.94
DS-025-I-Y-A    2    1064    0.15    27.94
DS-225-I-Y-A    2    1064    3.67    15x15
DS-226-I-Y-A    2    1064    3.39    15x15
DS-227-I-Y-A    2    1064    3.13    15x15
DS-228-I-Y-A    2    1064    2.9    15x15
DS-229-I-Y-A    2    1064    2.71    15x15
DS-230-I-Y-A    2    1064    2.44    15x15
DS-233-I-Y-A    2    1064    0.68    11
DS-234-I-Y-A    2    1064    5.42    11
DS-235-I-Y-A    2    1064    1.79    27.94
DS-237-I-Y-A    2    1064    18.41    15
DS-180-I-Y-A    2    1064    0.032    27.94
DS-239-I-Y-A    2    1064    2    25.4
DS-241-I-Y-A    2    1064    0.41    25.4
DS-242-I-Y-A    2    1064    0.11    25.4
DS-243-I-Y-A    2    1064    0.084    25.4
DS-248-I-Y-A    2    1064    3.59    14x14
DS-249-I-Y-A    2    1064    3.21    14x14
DS-250-I-Y-A    2    1064    3.05    14x14
DS-251-I-Y-A    2    1064    2.71    14x14
DS-252-I-Y-A    2    1064    2.54    14x14
DS-255-I-Y-A    2    1064    0.064    38.1
DS-256-I-Y-A    2    1064    0.45    27.94
DS-257-I-Y-A    2    1064    0.23    25.4
DS-258-I-Y-A    2    1064    0.046    25.4
DS-259-I-Y-A    2    1064    0.046    38.1
DS-260-I-Y-A    2    1064    0.052    38.1
DS-261-I-Y-A    2    1064    0.14    27.94
DS-265-I-Y-A    2    1064    0.36    27.94
DS-183-I-Y-A    2    1064    0.076    25.4
DS-182-I-Y-A    2    1064    0.076    27.94
DS-181-I-Y-A    2    1064    0.032    25.4
TS-230-I-Y-A    3    1064    0.25    15
TS-269-I-Y-A    3    1064    0.11    25.4
TS-270-I-Y-A    3    1064    0.023    25.4
TS-203-I-Y-A    3    1064    0.14    25.4
TS-242-I-Y-A    3    1064    1.22    15x15
TS-244-I-Y-A    3    1064    0.76    11
TS-220-I-Y-A    3    1064    7.64    9.8x9.8
TS-225-I-Y-A    3    1064    0.072    25.4
TS-004-I-Y-A    3    1064    0.14    27.94
TS-202-I-Y-A    3    1064    10    18
TS-030-I-Y-A    3    1064    10    25.4
TS-008-I-Y-S    3    1064    1.27    25.4
TS-241-I-Y-A    3    1064    1.35    15x15
TS-008-I-Y-D    3    1064    1.27    25.4
TS-240-I-Y-A    3    1064    1.45    15x15
TS-239-I-Y-A    3    1064    1.56    15x15
TS-238-I-Y-A    3    1064    1.69    11
TS-237-I-Y-A    3    1064    1.69    15x15
TS-236-I-Y-A    3    1064    1.83    15x15
TS-003-I-Y-A    3    1064    0.068    27.94
TS-235-I-Y-A    3    1064    2.07    25.4
TS-234-I-Y-A    3    1064    15.43    12x12
TS-008-I-Y-A    3    1064    1.27    25.4
TS-268-I-Y-A    3    1064    0.23    27.94
TS-267-I-Y-A    3    1064    0.091    25.4
TS-261-I-Y-A    3    1064    1    25.4
TS-233-I-Y-A    3    1064    7.19    11
TS-255-I-Y-A    3    1064    0.016    25.4
TS-232-I-Y-A    3    1064    0.34    11
TS-015-I-Y-A    3    1064    10.21    11
TS-245-I-Y-A    3    1064    0.67    25.4
TS-246-I-Y-A    3    1064    0.67    27.94
TS-259-I-Y-A    3    1064    0.71    25.4
TS-247-I-Y-A    3    1064    0.15    11
TS-258-I-Y-A    3    1064    9.21    15
TS-248-I-Y-A    3    1064    0.13    38.1
TS-249-I-Y-A    3    1064    0.073    11
TS-027-I-Y-A    3    1064    0.076    27.94
TS-250-I-Y-A    3    1064    0.072    20
TS-224-I-Y-A    3    1064    0.46    20
TS-256-I-Y-A    3    1064    0.016    27.94
TS-028-I-Y-A    3    1064    0.05    27.94
TS-216-I-Y-A    3    1064    0.46    25.4
TS-213-I-Y-A    3    1064    2.54    11
TS-212-I-Y-A    3    1064    4.36    11
TS-211-I-Y-A    3    1064    3.81    25.4
TS-254-I-Y-A    3    1064    0.019    38.1
TS-251-I-Y-A    3    1064    0.059    20
TS-031-I-Y-A    3    1064    5.09    25.4
TS-210-I-Y-A    3    1064    15.43    25.4
TS-257-I-Y-A    3    1064    15.43    10.7x10.7
TS-252-I-Y-A    3    1064    0.047    20
TS-205-I-Y-A    3    1064    0.091    27.94
TS-204-I-Y-A    3    1064    2.44    25.4
TS-277-I-Y-A    3    1064    0.068    38.1
TS-253-I-Y-A    3    1064    0.038    27.94
TS-201-I-Y-A    3    1064    0.48    27.94
TS-200-I-Y-A    3    1064    0.53    27.94
TS-243-I-Y-A    3    1064    1.09    11
MS-322-I-Y-A    4    1064    3.4    20x20
MS-399-I-Y-A    4    1064    0.14    25.4
MS-588-I-Y-A    4    1064    0.29    25.4
MS-506-I-Y-A    4    1064    0.5    25.4
MS-560-I-Y-A    4    1064    0.1    38.1
MS-332-I-Y-A    4    1064    1    11
MS-364-I-Y-A    4    1064    0.053    38.1
MS-307-I-Y-A    4    1064    5.11    20x20
MS-263-I-Y-A    4    1064    1.5    11
MS-355-I-Y-A    4    1064    1.33    20x20
MS-323-I-Y-X    5    1064    0.046    25.4
MS-555-I-Y-X    5    1064    0.54    17x17
MS-572-I-Y-X    5    1064    0.42    17x17
MS-398-I-Y-X    5    1064    0.3    25.4
MS-499-I-Y-X    5    1064    1    25.4
MS-226-I-Y-X    5    1064    0.5    25.4
MS-502-I-Y-A    6    1064    2.59    20x20
MS-357-I-Y-A    6    1064    0.21    25.4
MS-214-I-Y-A    6    1064    0.57    25.4
MS-385-I-Y-A    6    1064    0.76    25.4
MS-474-I-Y-A    6    1064    1.2    25.4
MS-338-I-Y-A    6    1064    0.57    11
MS-475-I-Y-A    6    1064    0.4    25.4
MS-545-I-Y-A    6    1064    0.054    25.4
MS-579-I-Y-A    6    1064    0.064    38.1
MS-501-I-Y-A    6    1064    2.59    25.4
MS-473-I-Y-A    6    1064    2.43    12.7x12.7
MS-298-I-Y-X    7    1064    0.19    15
MS-557-I-Y-X    7    1064    0.047    27.94
MS-272-I-Y-N    7    1064    0.19    15
MS-548-I-Y-X    7    1064    0.14    14x20
MS-519-I-Y-X    7    1064    0.14    11
MS-233-I-Y-X    7    1064    0.7    25.4
MS-463-I-Y-X    7    1064    0.29    15
MS-271-I-Y-A    7    1064    0.7    11
MS-278-I-Y-X    7    1064    0.95    11
MS-279-I-Y-X    7    1064    0.88    11
MS-107-I-Y-X    7    1064    0.29    25.4
MS-243-I-Y-A    8    1064    1.48    25.4
MS-549-I-Y-A    8    1064    0.5    14x20
MS-320-I-Y-A    8    1064    0.045    25.4
MS-605-I-Y-A    8    1064    0.071    20
MS-400-I-Y-A    8    1064    0.14    25.4
MS-304-I-Y-A    8    1064    0.045    27.94
MS-605-I-N-A    8    1064    0.071    20
MS-438-I-Y-N    9    1064    0.11    11
MS-291-I-Y-N    9    1064    0.11    27.94
MS-453-I-Y-X    9    1064    1.05    25.4
MS-396-I-Y-X    9    1064    0.03    25.4
MS-331-I-Y-A**    10    1064    0.76    19
MS-333-I-Y-A    10    1064    0.76    11
MS-244-I-Y-A    10    1064    0.76    25.4
MS-245-I-Y-A    10    1064    0.57    25.4
MS-551-I-Y-A    10    1064    0.3    14x14
MS-589-I-Y-X    11    1064    0.57    11
MS-327-I-Y-L    11    1064    1.52    9.8x9.8
MS-327-I-Y-S    11    1064    1.52    9.8x9.8
MS-592-I-Y-X    11    1064    0.11    11
MS-556-I-Y-X    11    1064    0.54    17x17
MS-590-I-Y-X    11    1064    0.23    11
MS-316-I-Y-A    11    1064    1.2    11
MS-408-I-Y-A    12    1064    2.44    15x15
MS-022-I-Y-X    15    1064    0.028    25.4
MS-021-I-Y-X    15    1064    0.044    25.4
MS-580-I-Y-X    15    1064    0.54    17x17
MS-454-I-Y-A    15    1064    0.44    20
MS-401-I-Y-A    16    1064    0.14    25.4
MS-439-I-Y-X    19    1064    0.15    11
MS-455-I-Y-A    19    1064    0.38    20
MS-268-I-Y-X    19    1064    0.15    25.4
MS-268-I-Y-A    19    1064    0.15    25.4
MS-269-I-Y-X    25    1064    0.11    25.4
MS-575-I-Y-A    32    1064    0.26    25.4
MS-512-I-Y-X    33    1064    0.036    25.4
MS-456-I-Y-A    35    1064    0.17    20
MS-457-I-Y-A    51    1064    0.17    20
MS-257-I-Y-A    51    1064    0.057    25.4
MS-505-I-Y-X    85    1064    0.25    20x20
MS-255-I-Y-X    101    1064    0.057    25.4
MS-542-I-Y-A    131    1064    0.062    10x10
MS-513-I-Y-X    321    1064    0.036    25.4

2）10.6um一维激光分束元件，CO2一维激光分束器标准规格
型号    光束数量    激光波长
[nm]    角度°
[deg]    透镜尺寸
DOE [mm]
MS-291-A-Y-A    9    10600    1.13    27.94
DS-001-A-Y-A    2    10600    1.36    27.94
TS-230-A-Y-A    3    10600    2.5    15
DS-025-A-Y-A    2    10600    1.52    27.94
DS-026-A-Y-A    2    10600    0.99    27.94
TS-205-A-Y-A    3    10600    0.9    27.94
DS-034-A-Y-A    2    10600    0.38    38.1
TS-201-A-Y-A    3    10600    4.77    27.94
TS-028-A-Y-A    3    10600    0.49    27.94
TS-004-A-Y-A    3    10600    1.35    27.94
TS-003-A-Y-A    3    10600    0.68    27.94
MS-557-A-Y-S    7    10600    0.47    27.94
MS-364-A-Y-A    4    10600    0.53    38.1
MS-304-A-Y-A    8    10600    0.45    27.94
MS-298-A-Y-N    7    10600    1.9    15
DS-002-A-Y-A    2    10600    2.7    27.94
MS-272-A-Y-N    7    10600    1.9    15
DS-260-A-Y-A    2    10600    0.52    38.1
DS-259-A-Y-A    2    10600    0.46    38.1
DS-243-A-Y-A    2    10600    0.84    25.4
DS-235-A-Y-A    2    10600    17.9    27.94
DS-223-A-Y-A    2    10600    13.47    27.94
DS-207-A-Y-A    2    10600    1.52    15
DS-202-A-Y-A**    2    10600    2 mm    20
DS-203-A-Y-A**    2    10600    1.3 mm    20
DS-204-A-Y-A**    2    10600    2 mm    20
DS-205-A-Y-A**    2    10600    1.3 mm    20
DS-213-A-Y-A    2    10600    0.38    38.1
DS-256-A-Y-A    2    10600    4.51    27.94
MS-272-A-Y-A    7    10600    1.9    15
MS-291-A-Y-N    9    10600    1.13    27.94
MS-298-A-Y-X    7    10600    1.9    15
MS-519-A-Y-X    7    10600    1.43    11
MS-557-A-Y-X    7    10600    0.47    27.94
MS-560-A-Y-A    4    10600    1    38.1
MS-400-A-Y-A    8    10600    1.43    25.4
DS-222-A-Y-A    2    10600    21.82    11
DS-194-A-Y-A    2    10600    10.51    27.94
DS-224-A-Y-A**    2    10600    1.17    20
DS-233-A-Y-A    2    10600    6.75    11
DS-193-A-Y-A    2    10600    9.54    25.4
DS-238-A-Y-A    2    10600    14.16    25.4
DS-239-A-Y-A    2    10600    20.01    25.4
DS-241-A-Y-A    2    10600    4.05    25.4
DS-242-A-Y-A    2    10600    1.06    25.4
DS-192-A-Y-A    2    10600    9.54    27.94
DS-255-A-Y-A    2    10600    0.64    38.1
DS-209-A-Y-A    2    10600    1.46    11
DS-257-A-Y-A    2    10600    2.28    25.4
DS-258-A-Y-A    2    10600    0.46    25.4
DS-191-A-Y-A    2    10600    9.18    25.4
DS-190-A-Y-A    2    10600    9.18    27.94
DS-261-A-Y-A    2    10600    1.36    27.94
DS-265-A-Y-A    2    10600    3.6    27.94
TS-270-A-Y-A    3    10600    0.23    25.4
TS-269-A-Y-A    3    10600    1.14    25.4
MS-107-A-Y-X    7    10600    2.86    25.4
MS-214-A-Y-A    6    10600    5.69    25.4
MS-226-A-Y-X    5    10600    4.98    25.4
MS-233-A-Y-X    7    10600    6.98    25.4
MS-245-A-Y-A    10    10600    5.69    25.4
MS-257-A-Y-A    51    10600    0.57    25.4
MS-263-A-Y-A    4    10600    14.99    11
MS-268-A-Y-X    19    10600    1.49    25.4
MS-269-A-Y-X    25    10600    1.1    25.4
MS-271-A-Y-A    7    10600    7    11
DS-189-A-Y-A    2    10600    5    15
DS-210-A-Y-A    2    10600    2.93    11
DS-212-A-Y-A    2    10600    2.54    38.1
DS-188-A-Y-A    2    10600    1.8    25.4
DS-195-A-Y-A    2    10600    10.51    25.4
DS-187-A-Y-A    2    10600    1.8    27.94
DS-186-A-Y-A    2    10600    1.43    25.4
MS-320-A-Y-A    8    10600    0.45    25.4
TS-268-A-Y-A    3    10600    2.25    27.94
MS-332-A-Y-A    4    10600    9.98    11
MS-338-A-Y-A    6    10600    5.69    11
MS-357-A-Y-A    6    10600    2.06    25.4
DS-185-A-Y-A**    2    10600    1.43    20
MS-385-A-Y-A    6    10600    7.59    25.4
TS-267-A-Y-A    3    10600    0.9    25.4
MS-398-A-Y-X    5    10600    2.94    25.4
MS-399-A-Y-A    4    10600    1.43    25.4
DS-208-A-Y-A    2    10600    2.7    11
MS-401-A-Y-A    16    10600    1.43    25.4
MS-438-A-Y-N    9    10600    1.13    11
MS-439-A-Y-X    19    10600    1.49    11
MS-463-A-Y-X    7    10600    2.86    15
MS-475-A-Y-A    6    10600    3.98    25.4
MS-499-A-Y-X    5    10600    10.05    25.4
MS-506-A-Y-A    4    10600    4.98    25.4
MS-512-A-Y-X    33    10600    0.35    25.4
DS-215-A-Y-A    2    10600    34.25    11
MS-545-A-Y-A    6    10600    0.54    25.4
DS-216-A-Y-A    2    10600    15.23    11
DS-184-A-Y-A    2    10600    0.93    25.4
DS-217-A-Y-A    2    10600    2.7    25.4
MS-579-A-Y-A    6    10600    0.64    38.1
MS-588-A-Y-A    4    10600    2.93    25.4
MS-590-A-Y-X    11    10600    2.28    11
MS-592-A-Y-X    11    10600    1.14    11
MS-605-A-Y-A**    8    10600    0.71    20
DS-183-A-Y-A    2    10600    0.76    25.4
DS-182-A-Y-A    2    10600    0.76    27.94
TS-008-A-Y-A    3    10600    12.76    25.4
TS-027-A-Y-A    3    10600    0.76    27.94
DS-181-A-Y-A    2    10600    0.31    25.4
TS-200-A-Y-A    3    10600    5.25    27.94
DS-180-A-Y-A    2    10600    0.31    27.94
TS-203-A-Y-A    3    10600    1.35    25.4
DS-029-A-Y-A    2    10600    0.99    15
TS-208-A-Y-A**    3    10600    1 mm    20
TS-216-A-Y-A    3    10600    4.59    25.4
TS-224-A-Y-A**    3    10600    4.59    20
TS-225-A-Y-A    3    10600    0.72    25.4
DS-006-A-Y-A    2    10600    25.52    25.4
TS-232-A-Y-A    3    10600    3.38    11
TS-238-A-Y-A    3    10600    17.12    11
TS-243-A-Y-A    3    10600    10.91    11
TS-244-A-Y-A    3    10600    7.61    11
TS-245-A-Y-A    3    10600    6.74    25.4
TS-246-A-Y-A    3    10600    6.74    27.94
TS-247-A-Y-A    3    10600    1.46    11
TS-248-A-Y-A    3    10600    1.27    38.1
TS-249-A-Y-A    3    10600    0.73    11
TS-250-A-Y-A**    3    10600    0.72    20
TS-251-A-Y-A**    3    10600    0.58    20
TS-252-A-Y-A**    3    10600    0.47    20
TS-253-A-Y-A    3    10600    0.38    27.94
TS-254-A-Y-A    3    10600    0.19    38.1
TS-255-A-Y-A    3    10600    0.16    25.4
TS-256-A-Y-A    3    10600    0.16    27.94
TS-259-A-Y-A    3    10600    7.08    25.4
TS-261-A-Y-A    3    10600    10.01    25.4
TS-277-A-Y-A    3    10600    0.68    38.1
MS-396-A-Y-X    9    10600    0.3    25.4
MS-323-A-Y-X    5    10600    0.46    25.4
MS-022-A-Y-X    15    10600    0.28    25.4
MS-021-A-Y-X    15    10600    0.44    25.4

3）1064nm二维激光分束元件标准规格
型号    光束数量    激光波长
[nm]    角度°
[deg]    透镜尺寸
DOE [mm]
MS-568-I-Y-A    2x2    1064    1.08x1.08    11
MS-562-I-Y-A    2x2    1064    0.41x0.41    25.4
MS-561-I-Y-A    2x2    1064    2.00x2.00    25.4
MS-203-I-Y-A    2x2    1064    4.00x4.00    25.4
MS-472-I-Y-X    2x3    1064    2.60x1.50    20
MS-559-I-Y-A    2x2    1064    28.52x28.52    20x20
MS-565-I-Y-A    2x2    1064    1.52x1.52    11
MS-574-I-Y-A    2x2    1064    0.35x0.35    15
MS-503-I-Y-A    2x2    1064    8.72x8.72    20x20
MS-564-I-Y-A    2x2    1064    0.29x0.29    25.4
MS-566-I-Y-A    2x2    1064    0.68x0.68    11
MS-567-I-Y-A    2x2    1064    0.29x0.29    11
MS-558-I-Y-A    2x2    1064    28.52x28.52    20x20
MS-240-I-Y-A    2x2    1064    13.58x13.58    11
MS-478-I-Y-A    2x2    1064    2.77x2.77    11
MS-445-I-Y-A    2x2    1064    1.42x1.42    25.4
MS-444-I-Y-X    2x3    1064    0.90x0.52    11
MS-569-I-Y-A    2x2    1064    0.48x0.48    11
MS-319-I-Y-A    2x2    1064    13.58x13.58    25.4
MS-204-I-Y-A    2x2    1064    0.25x0.25    25.4
MS-570-I-Y-A    2x2    1064    0.21x0.21    11
MS-563-I-Y-A    2x2    1064    1.41x1.41    25.4
MS-553-I-Y-A    2x2    1064    9.21x9.21    25.4x25.4
MS-595-I-Y-A    2x2    1064    13.58x13.58    10x10
MS-030-I-Y-A    2x2    1064    1.00x1.00    25.4
MS-354-I-Y-A    2x2    1064    0.50x0.50    11
MS-576-I-Y-A    2x2    1064    0.50x0.50    25.4
MS-546-I-Y-A    2x2    1064    7.96x7.96    25.4
MS-382-I-Y-A    2x2    1064    7.63x7.63    25.4
MS-285-I-Y-X    3x3    1064    1.27x1.27    25.4
MS-286-I-Y-X    3x4    1064    1.27x0.85    25.4
MS-286-I-Y-A    3x4    1064    1.27x0.85    25.4
MS-287-I-Y-X    3x5    1064    1.27x0.64    25.4
MS-480-I-Y-X    3    1064    0.18x0.21    25.4
MS-261-I-Y-X    3x3    1064    0.57x0.57    11
MS-287-I-Y-A    3x5    1064    1.27x0.64    25.4
MS-288-I-Y-A    3x7    1064    1.27x0.42    25.4
MS-452-I-Y-N    3x11    1064    0.033x0.11    25.4
MS-284-I-Y-X    3x3    1064    0.36x0.36    11
MS-458-I-Y-X    3x3    1064    0.50x0.50    25.4
MS-326-I-Y-X    3x3    1064    7.64x5.75    9.8x9.8
MS-471-I-Y-X    3    1064    2.60x3.00    20
MS-597-I-Y-X    3x3    1064    0.031x0.031    12.5
MS-339-I-Y-X    3    1064    0.35x0.47    25.4
MS-261-I-Y-A    3x3    1064    0.57x0.57    11
MS-280-I-Y-X**    3x3    1064    0.36x0.36    19
MS-552-I-Y-X    3x5    1064    2.67x2.01    22x22
MS-288-I-Y-X    3x7    1064    1.27x0.42    25.4
MS-585-I-Y-X    3x3    1064    0.30x0.30    25.4
MS-584-I-Y-X    3x9    1064    0.52x0.19    20x20
MS-581-I-Y-X    3x3    1064    0.57x0.57    15
MS-362-I-Y-X    3x3    1064    3.27x5.68    33x33
MS-443-I-Y-N    3x3    1064    0.060x0.060    25.4
MS-443-I-Y-X    3x3    1064    0.060x0.060    25.4
MS-550-I-Y-X    3x5    1064    2.67x2.01    25.4
MS-416-I-Y-X    3    1064    0.90x1.04    11
MS-285-I-Y-A    3x3    1064    1.27x1.27    25.4
MS-260-I-Y-A    4x4    1064    0.57x0.57    11
MS-586-I-Y-A    4x4    1064    2.90x2.90    11
MS-325-I-Y-A    4x4    1064    5.08x3.81    9.8x9.8
MS-341-I-Y-A    4x4    1064    0.85x0.85    50
MS-459-I-Y-A    4x4    1064    1.94x1.94    25.4
MS-267-I-Y-A    4x4    1064    0.94x0.94    25.4
MS-477-I-Y-A    4x4    1064    0.21x0.21    25.4
MS-216-I-Y-A    4x4    1064    1.39x1.39    11
MS-202-I-Y-A    4x4    1064    1.39x1.39    25.4
MS-429-I-Y-L    5x5    1064    1.00x1.00    18
MS-290-I-Y-X    5x5    1064    2.61x2.61    11
MS-462-I-Y-X    5x33    1064    1.18x0.59    11
MS-236-I-Y-A    5x5    1064    2.68x2.68    11x11
MS-429-I-Y-N    5x5    1064    1.00x1.00    18
MS-306-I-Y-X    5x6    1064    0.64x0.51    25.4
MS-289-I-Y-A    5x5    1064    2.20x2.20    11
MS-290-I-Y-A    5x5    1064    2.61x2.61    11
MS-303-I-Y-A    5x5    1064    2.20x2.20    10
MS-306-I-Y-A    5x6    1064    0.64x0.51    25.4
MS-321-I-Y-X    5x5    1064    3.23x3.23    11
MS-324-I-Y-X    5x5    1064    3.81x2.87    9.8x9.8
MS-235-I-Y-X    5x5    1064    2.68x2.68    11
MS-429-I-Y-A    5x5    1064    1.00x1.00    18
MS-386-I-Y-X    5    1064    13.58x13.58    25.4
MS-305-I-Y-X    5x5    1064    0.64x0.64    25.4
MS-215-I-Y-A    5x5    1064    1.00x1.00    11
MS-025-I-Y-A    5x5    1064    1.00x1.00    25.4
MS-220-I-Y-A    5x5    1064    1.39x1.39    11
MS-229-I-Y-A    5x5    1064    0.30x0.30    15
MS-437-I-Y-X    5x4    1064    0.98x1.01    25.4
MS-217-I-Y-X    5x5    1064    1.94x1.94    11
MS-434-I-Y-X    5    1064    1.00x1.00    25.4
MS-591-I-Y-A    6x6    1064    0.23x0.23    11
MS-415-I-Y-A    6x6    1064    0.40x0.40    11
MS-426-I-Y-A    6x6    1064    1.15x1.15    11
MS-427-I-Y-A    6x6    1064    0.80x0.80    11
MS-460-I-Y-A    6x8    1064    0.50x0.50    25.4
MS-610-I-Y-X    7    1064    1.43x1.43    25.4
MS-273-I-Y-X    7x7    1064    0.70x0.70    25.4
MS-571-I-Y-X    7x7    1064    0.074x0.074    25.4
MS-599-I-Y-X    7    1064    0.031    11
MS-544-I-Y-X    7x7    1064    0.70x0.70    15
MS-608-I-Y-X    7    1064    0.57    25.4
MS-049-I-Y-A    7x7    1064    0.70x0.70    25.4
MS-587-I-Y-X    7    1064    0.26    20
MS-201-I-Y-A    7x7    1064    0.70x0.70    11
MS-238-I-Y-X    7x7    1064    2.11x2.11    11x11
MS-299-I-Y-X    7x7    1064    2.11x2.11    25.4
MS-201-I-Y-N    7x7    1064    0.70x0.70    11
MS-237-I-Y-X    7x7    1064    2.11x2.11    11
MS-609-I-Y-X    7    1064    1.43    25.4
MS-201-I-Y-L    7x7    1064    0.70x0.70    11
MS-342-I-Y-X    7x7    1064    1.40x1.40    11
MS-231-I-Y-X    7    1064    0.13    25.4
MS-611-I-Y-X    7    1064    5.74    25.4
MS-211-I-Y-A    7x7    1064    0.19x0.19    25.4
MS-299-I-Y-A    7x7    1064    2.11x2.11    25.4
MS-342-I-Y-A    7x7    1064    1.40x1.40    11
MS-607-I-Y-X    7    1064    0.29    25.4
MS-221-I-Y-A    7x7    1064    0.19x0.19    15
MS-237-I-Y-A    7x7    1064    2.11x2.11    11
MS-231-I-Y-A    7    1064    0.13    25.4
MS-476-I-Y-A    7x7    1064    2.11x2.11    15
MS-476-I-Y-X    7x7    1064    2.11x2.11    15
MS-300-I-Y-A    8x8    1064    0.57x0.57    11
MS-446-I-Y-A    8x8    1064    1.09x1.09    20
MS-241-I-Y-A    8x8    1064    1.09x1.09    25.4
MS-479-I-Y-A    8x8    1064    0.69x0.69    11
MS-384-I-Y-A    8x8    1064    0.57x0.57    25.4
MS-430-I-Y-A    9x9    1064    0.50x0.50    18
MS-292-I-Y-X    9x9    1064    0.061x0.061***    27.94
MS-358-I-Y-X    9x9    1064    1.09x1.09    11
MS-377-I-Y-L    9x9    1064    0.50x0.50    20
MS-218-I-Y-A    9x9    1064    0.50x0.50    11
MS-377-I-Y-A    9x9    1064    0.50x0.50    20
MS-027-I-Y-N    9x9    1064    0.50x0.50    25.4
MS-232-I-Y-A    9x9    1064    0.15x0.15    15
MS-027-I-Y-L    9x9    1064    0.50x0.50    25.4
MS-430-I-Y-N    9x9    1064    0.50x0.50    18
MS-377-I-Y-N    9x9    1064    0.50x0.50    20
MS-376-I-Y-A    9x9    1064    0.21x0.21    20
MS-274-I-Y-X    9x9    1064    0.50x0.50    25.4
MS-259-I-Y-X    9x9    1064    0.12x0.12    15
MS-254-I-Y-A    9x9    1064    0.21x0.21    25.4
MS-254-I-N-A    9x9    1064    0.21x0.21    25.4
MS-281-I-Y-X**    9x9    1064    0.50x0.50    19
MS-254-I-Y-N    9x9    1064    0.21x0.21    25.4
MS-225-I-Y-A    9x9    1064    0.12x0.12    15
MS-027-I-Y-A    9x9    1064    0.50x0.50    25.4
MS-387-I-Y-A    9x9    1064    0.50x0.50    15
MS-430-I-Y-L    9x9    1064    0.50x0.50    18
MS-249-I-Y-A    9x9    1064    0.50x0.50    27.94
MS-393-I-Y-X    9x9    1064    0.70x0.70    11
MS-394-I-Y-X    9x9    1064    0.19x0.19    11
MS-239-I-Y-A    9x9    1064    0.21x0.21    11
MS-516-I-Y-A    10x10    1064    0.93x0.93    14.1x14.1
MS-375-I-Y-A    10x10    1064    0.069x0.069    25.4
MS-409-I-Y-A    10x10    1064    0.93x0.93    18
MS-500-I-Y-A    10x10    1064    0.93x0.93    20
MS-516-I-Y-S    10x10    1064    0.93x0.93    14.1x14.1
MS-500-I-Y-S    10x10    1064    0.93x0.93    20
MS-536-I-Y-A    10x10    1064    1.87x1.87    14.1x14.1
MS-403-I-Y-X    11x11    1064    0.32x0.32    11
MS-578-I-Y-X    11x11    1064    0.26x0.26    5x5
MS-359-I-Y-A    11x11    1064    0.10x0.10    11
MS-402-I-Y-A    11x11    1064    0.32x0.32    11
MS-616-I-Y-A    12x12    1064    0.33x0.33    25.4
MS-356-I-Y-X    12    1064    9.15x9.15***    25.4
MS-464-I-Y-A    13x13    1064    0.015x0.015    14.1x14.1
MS-441-I-Y-X    13x13    1064    0.33x0.33    11
MS-414-I-Y-X    15x15    1064    0.50x0.50    11
MS-212-I-Y-X    15x15    1064    0.50x0.50    25.4
MS-583-I-Y-X    15x15    1064    0.50x0.50    25.4
MS-461-I-Y-X    15x15    1064    0.31x0.31    11
MS-353-I-Y-A    16x16    1064    0.33x0.33    12.5
MS-504-I-Y-A    16x16    1064    0.20x0.20    20x20
MS-397-I-Y-A    16x16    1064    0.33x0.33    25.4
MS-410-I-Y-A**    18x18    1064    0.49x0.49    19
MS-277-I-Y-X    19x19    1064    0.12x0.12    25.4
MS-440-I-Y-X    19x19    1064    0.12x0.12    11
MS-328-I-Y-L    19x13    1064    0.85x0.95    9.8x9.8
MS-619-I-Y-X    19    1064    1.43    25.4
MS-618-I-Y-X    19    1064    0.57    25.4
MS-422-I-Y-X    21x21    1064    18.38x18.38***    2.45x2.45
MS-367-I-Y-X    21x21    1064    0.090x0.090    11
MS-340-I-Y-X    21x21    1064    0.080x0.080    11
MS-465-I-Y-A    25x25    1064    0.016x0.016    14.1x14.1
MS-594-I-Y-A    28x28    1064    0.23x0.23    30x30
MS-246-I-Y-X    29x29    1064    1.43x1.43    25.7x25.7
MS-573-I-Y-X    29x29    1064    0.0075x0.0075    34
MS-514-I-Y-X    31x31    1064    0.17x0.17    11
MS-515-I-Y-X    32    1064    5.00x5.00***    11
MS-621-I-Y-X    37    1064    1.43    25.4
MS-395-I-Y-X    37    1064    0.33    15
MS-250-I-Y-X    37    1064    0.092    25.4
MS-620-I-Y-X    37    1064    0.57    25.4
MS-423-I-Y-X    41x41    1064    18.41x18.41***    2.45x2.45
MS-424-I-Y-X    61x61    1064    18.37x18.37***    2.45x2.45
MS-541-I-Y-A    64x64    1064    0.066x0.066    10x10
MS-413-I-Y-A    64x64    1064    0.48x0.48    10x10
MS-534-I-Y-A    64x64    1064    0.044x0.044    10x10
MS-388-I-Y-X    76    1064    0.5    11
MS-383-I-Y-X    76    1064    0.5    25.4
MS-337-I-Y-X    77    1064    5.73x5.73***    11
MS-404-I-Y-X    81x81    1064    18.37x18.37***    2.5x2.5
MS-360-I-Y-X    99x99    1064    0.10x0.10    11
MS-363-I-Y-X    101x101    1064    40.66x40.66***    10x10
MS-405-I-Y-X    119x119    1064    18.37x18.37***    2.5x2.5
MS-412-I-Y-A    128x64    1064    0.060x0.033    10x10
MS-411-I-Y-A    128x64    1064    0.16x0.16    10x10
MS-532-I-Y-A    128x128    1064    0.24x0.24    10x10


4）10.6um二维激光分束元件，二氧化碳二维激光分束器标准规格
型号    光束数量    激光波长
[nm]    角度°
[deg]    透镜尺寸
DOE [mm]
MS-445-A-Y-A    2x2    10600    14.16x14.16    25.4
MS-030-A-Y-A    2x2    10600    10.01x10.01    25.4
MS-562-A-Y-A    2x2    10600    4.05x4.05    25.4
MS-561-A-Y-A    2x2    10600    20.01x20.01    25.4
MS-566-A-Y-A    2x2    10600    6.75x6.75    11
MS-567-A-Y-A    2x2    10600    2.93x2.93    11
MS-478-A-Y-A    2x2    10600    27.88x27.88    11
MS-204-A-Y-A    2x2    10600    2.49x2.49    25.4
MS-472-A-Y-X**    2x3    10600    26.10x15.12    20
MS-565-A-Y-A    2x2    10600    15.23x15.23    11
MS-444-A-Y-X    2x3    10600    9.02x5.21    11
MS-563-A-Y-A    2x2    10600    14.12x14.12    25.4
MS-576-A-Y-A    2x2    10600    5.00x5.00    25.4
MS-564-A-Y-A    2x2    10600    2.86x2.86    25.4
MS-568-A-Y-A    2x2    10600    10.75x10.75    11
MS-569-A-Y-A    2x2    10600    4.77x4.77    11
MS-354-A-Y-A    2x2    10600    5.00x5.00    11
MS-570-A-Y-A    2x2    10600    2.07x2.07    11
MS-574-A-Y-A    2x2    10600    3.54x3.54    15
MS-284-A-Y-X    3x3    10600    3.61x3.61    11
MS-285-A-Y-X    3x3    10600    12.76x12.76    25.4
MS-286-A-Y-X    3x4    10600    12.76x8.44    25.4
MS-287-A-Y-X    3x5    10600    12.76x6.34    25.4
MS-288-A-Y-X    3x7    10600    12.76x4.22    25.4
MS-443-A-Y-X    3x3    10600    0.60x0.60    25.4
MS-416-A-Y-X    3    10600    9.02x10.42    11
MS-458-A-Y-X    3x3    10600    4.98x4.98    25.4
MS-452-A-Y-N    3x11    10600    0.33x1.13    25.4
MS-339-A-Y-X    3    10600    3.54x4.72    25.4
MS-261-A-Y-X    3x3    10600    5.71x5.71    11
MS-581-A-Y-X    3x3    10600    5.71x5.71    15
MS-480-A-Y-X    3    10600    1.79x2.07    25.4
MS-597-A-Y-X**    3x3    10600    0.31x0.31    12.5
MS-471-A-Y-X**    3    10600    26.10x30.23    20
MS-280-A-Y-X    3x3    10600    3.61x3.61    19
MS-585-A-Y-X    3x3    10600    2.95x2.95    25.4
MS-202-A-Y-A    4x4    10600    13.84x13.84    25.4
MS-341-A-Y-A**    4x4    10600    8.44x8.44    50
MS-216-A-Y-A    4x4    10600    13.84x13.84    11
MS-477-A-Y-A    4x4    10600    2.11x2.11    25.4
MS-267-A-Y-A    4x4    10600    9.33x9.33    25.4
MS-260-A-Y-A    4x4    10600    5.71x5.71    11
MS-215-A-Y-A    5x5    10600    10.01x10.01    11
MS-429-A-Y-A**    5x5    10600    10.01x10.01    18
MS-434-A-Y-X    5    10600    10.01x10.01    25.4
MS-437-A-Y-X    5x4    10600    9.82x10.04    25.4
MS-025-A-Y-A    5x5    10600    10.01x10.01    25.4
MS-306-A-Y-X    5x6    10600    6.34x5.06    25.4
MS-229-A-Y-A    5x5    10600    3.01x3.01    15
MS-305-A-Y-X    5x5    10600    6.34x6.34    25.4
MS-591-A-Y-A    6x6    10600    2.28x2.28    11
MS-460-A-Y-A    6x8    10600    4.98x4.98    25.4
MS-427-A-Y-A    6x6    10600    7.95x7.95    11
MS-415-A-Y-A    6x6    10600    3.98x3.98    11
MS-273-A-Y-X    7x7    10600    7.00x7.00    25.4
MS-587-A-Y-X**    7    10600    2.59    20
MS-607-A-Y-X    7    10600    2.85    25.4
MS-221-A-Y-A    7x7    10600    1.90x1.90    15
MS-571-A-Y-X    7x7    10600    0.74x0.74    25.4
MS-609-A-Y-X    7    10600    14.31    25.4
MS-608-A-Y-X    7    10600    5.71    25.4
MS-211-A-Y-A    7x7    10600    1.90x1.90    25.4
MS-610-A-Y-X    7    10600    14.44x14.44    25.4
MS-231-A-Y-X    7    10600    1.3    25.4
MS-049-A-Y-A    7x7    10600    7.00x7.00    25.4
MS-599-A-Y-X    7    10600    0.31    11
MS-221-A-Y-L    7x7    10600    1.90x1.90    15
MS-201-A-Y-A    7x7    10600    7.00x7.00    11
MS-544-A-Y-X    7x7    10600    7.00x7.00    15
MS-611-A-Y-X    7    10600    59.84    25.4
MS-479-A-Y-A    8x8    10600    6.91x6.91    11
MS-300-A-Y-A    8x8    10600    5.66x5.66    11
MS-384-A-Y-A    8x8    10600    5.66x5.66    25.4
MS-377-A-Y-A**    9x9    10600    4.98x4.98    20
MS-254-A-Y-A    9x9    10600    2.06x2.06    25.4
MS-292-A-Y-X    9x9    10600    0.61x0.61***    27.94
MS-387-A-Y-A    9x9    10600    4.98x4.98    15
MS-259-A-Y-X    9x9    10600    1.20x1.20    15
MS-394-A-Y-X    9x9    10600    1.90x1.90    11
MS-225-A-Y-A    9x9    10600    1.20x1.20    15
MS-394-A-Y-A    9x9    10600    1.90x1.90    11
MS-027-A-Y-A    9x9    10600    4.98x4.98    25.4
MS-225-A-Y-N    9x9    10600    1.20x1.20    15
MS-274-A-Y-X    9x9    10600    4.98x4.98    25.4
MS-232-A-Y-A    9x9    10600    1.50x1.50    15
MS-218-A-Y-A    9x9    10600    4.98x4.98    11
MS-281-A-Y-X    9x9    10600    4.98x4.98    19
MS-232-A-Y-L    9x9    10600    1.50x1.50    15
MS-430-A-Y-A**    9x9    10600    4.98x4.98    18
MS-239-A-Y-A    9x9    10600    2.06x2.06    11
MS-249-A-Y-A    9x9    10600    4.98x4.98    27.94
MS-232-A-Y-N    9x9    10600    1.50x1.50    15
MS-376-A-Y-A**    9x9    10600    2.06x2.06    20
MS-375-A-Y-A    10x10    10600    0.69x0.69    25.4
MS-403-A-Y-X    11x11    10600    3.19x3.19    11
MS-402-A-Y-A    11x11    10600    3.19x3.19    11
MS-359-A-Y-A    11x11    10600    1.00x1.00    11
MS-356-A-Y-X    12    10600    105.31x105.31***    25.4
MS-616-A-Y-A    12x12    10600    3.28x3.28    25.4
MS-441-A-Y-X    13x13    10600    3.30x3.30    11
MS-461-A-Y-X    15x15    10600    3.05x3.05    11
MS-353-A-Y-A**    16x16    10600    3.26x3.26    12.5
MS-397-A-Y-A    16x16    10600    3.26x3.26    25.4
MS-440-A-Y-X    19x19    10600    1.19x1.19    11
MS-619-A-Y-X    19    10600    14.31    25.4
MS-618-A-Y-X    19    10600    5.71    25.4
MS-277-A-Y-X    19x19    10600    1.19x1.19    25.4
MS-367-A-Y-X    21x21    10600    0.90x0.90    11
MS-340-A-Y-X    21x21    10600    0.80x0.80    11
MS-573-A-Y-X    29x29    10600    0.075x0.075    34
MS-514-A-Y-X    31x31    10600    1.66x1.66    11
MS-515-A-Y-X    32    10600    51.50x51.50***    11
MS-395-A-Y-X    37    10600    3.29    15
MS-620-A-Y-X    37    10600    5.71    25.4
MS-621-A-Y-X    37    10600    14.31    25.4
MS-250-A-Y-X    37    10600    0.92    25.4
MS-388-A-Y-X    76    10600    4.98    11
MS-383-A-Y-X    76    10600    4.98    25.4
MS-337-A-Y-X    77    10600    59.69x59.69***    11