衍射光学元件配件的种类介绍，DOE配件类型一览

衍射光学元件能够实现对激光的能量和相位进行各种调制，例如激光分束、采样、整形、焦点拉长、扩散/匀化、消色差等控制。衍射光学元件使用透镜表面的微纳结构，改变激光的相位。通过恰当的设计，可以使入射激光按照任何期望的强度进行排布，从而对激光进行精准操纵。可以用于激光加工、激光打标、激光焊接、激光切割、激光打孔、激光热处理等领域。

衍射光学元件也有一些固有的缺点，例如无法彻底消除高级次衍射，每个DOE的输出图案都是固定的，难以调节。如果要使DOE在实际应用中发挥更大的作用，或者想实现单个衍射光学元件难以实现的光学控制功能，就需要用到一些配件。例如高阶激光阻挡模组、激光缩放器、激光电介质掩膜、激光聚焦模组和激光扩束器，这些配件统称为激光衍射光学元件的配件。下面我们逐项进行介绍。
 
光束整形专用聚焦镜，DOE专用聚焦镜（Focusing Module）。
为了在现实中获得理想的光束整形效果，Holoor开发了光束整形专用聚焦镜（Focusing Module），能够实现在焦平面上产生高精度、无相差的激光图像。
普通聚焦镜或物镜通常是聚焦高斯光束，没有针对DOE进行优化，因此经常引起平顶光束的畸变/相差现象，这些畸变通常会发生在小焦距，短的波长和大型输入光束。为了解决这个问题，Holoor专门设计了光束整形专用聚焦镜，模组包含5个透镜，可以在后端获得经衍射光学元件DOE后的激光衍射图形。例如对355nm的激光波长可整体设计聚焦模组，焦距50mm，光斑形状为正方形。激光聚焦模组的波长和焦距均可定制。
holoor聚焦模块呈现以下特点:
无相差
焦距:50mm
波长(优化):355nm
模块尺寸= 直径38.5mm
材料: 熔融石英
*大输入光束大小= 12(毫米)
*大平顶光斑的全角度:18(度)
可选——Objective correction collar
 
DOE专用扩束器
DOE专用扩束器（DOE Expander）也是为了在不改变光路的情况下调节某些衍射光学元件(DOE)的输出参数。DOE扩束器可以扩大或缩小衍射激光光斑的图形，设定DOE输出的放大倍数。
DOE专用扩束器不同于标准的光束扩展器，其考虑了光束整形元件的特点，是光束整形、激光分束还是激光焦点控制，从而实现一流的调制效果和*小的畸变。

高衍射级次阻挡模组，高阶激光阻挡模组
高衍射级次阻挡模组英文名称为Module for blocking unwanted spots \ energy，作用是阻挡不需要的高级次激光衍射光斑，而只留下需要的激光光斑，一般为0级或1级。
该模块包含6个镜头和一个面具/光圈在中间。每个衍射光学元件的设计需要一个特定的面具/光圈根据客户的规格。
高阶激光阻挡模组的参数和功能：
*大入射激光光束直径 = 12 [mm]
DOE元件*大衍射角度 = 5 [deg]
输入激光光束小于12[mm] 则DOE的衍射角度可大于5 [deg]
模组长度 = 90 [mm] (不含DOE 和聚焦透镜)
模组外径 = 30.5 [mm] (lens diameter = 25.4 [mm])
透镜材料 = N-SF11
 
DOE光束缩放器，衍射元件缩放器（DOE Tuner）
DOE光束缩放器（DOE Tuner）是对各种DOE输出参数的微调能力需求时使用衍射光学元件(DOE)，克服了DOE输出光斑和角度固定的缺点，调节参数包括形状/光斑大小,分离/发散角等整体梁调谐器/或设计变量，优化与前端的光束整形器使用,均质器、MultiSpot和其他产品。另一个应用是入射电子束的微调大小。在入射光束大小的精度对平顶衍射光学元件(DOE)的应用很重要的。